触摸屏
伺服驱动器
Alpha7系列 驱动器可支持脉冲模拟量、EtherCAT和SX总线，速度响应频率3.2KHz，24位编码器反馈，功率范围0.05～5KW。支持STO，遵循对应半导体、液晶制造装置的SEMI-F47规格。
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